X射線鍍層測厚儀X射線熒光的物理意義：

X射線是電磁波譜中的某特定波長范圍內的電磁波，其特性通常用能量（單位：千電子伏特，keV）和波長（單位：鈉米，nm）描述。X射線熒光是原子內產生變化所致的現象。一個穩定的原子結構由原子核及核外電子組成。這些核外電子圍繞著原子核按不同軌道運轉，它們按不同的能量分布在不同的電子殼層：分布在同一殼層的電子具有相同的能量。

當具有高能量的入射（一次）X射線與原子發生碰撞時，會打破原子結構的穩定性。處于低能量電子殼層（如：K層）的電子更容易被激發而從原子中逐放出來，電子的逐放會導致該電子殼層出現相應的電子空位。這時處于高能量電子殼層的電子（如：L層）會躍遷到該低能量電子殼層來補充相應的電子空位。由于不同電子殼層之間存在著能量差距，這些能量上的差以二次X射線的形式釋放出來，不同的元素所釋放出來的二次X射線具有特定的能量特性。儀器通過探測不同的元素所釋放出來的二次X射線具有特定的能量特性，進行分析計算得到各鍍層厚度，這一個過程就是我們所說的X射線鍍層測厚儀。