X射線鍍層測厚儀實現(xiàn)微小光束的高靈敏度，通過微小準直器提高了膜厚測量精度。鍍層測量時間比本公司原有機型縮短了1/2。另外，針對檢測器的特性開發(fā)了新的EP法，X射線鍍層測厚儀可進行無標樣測量。測量結果可一鍵生成報告書，簡單方便。

新薄膜EP法    

    減少檢量線制作的繁瑣程度、實現(xiàn)了設定測量條件的簡易化；

    無標樣測量方法可進行zui多5層的膜厚測量；

自動對焦功能和距離修正功能    

    凹凸落差的樣品可通過薄膜EP法做成的相同測定條件進行測量；

靈敏度提高

    鍍層測量時間比本公司原有機型縮短了1/2；

生成報告功能

    一鍵生成測量報告書；

 

廣域樣品觀察

X射線鍍層測厚儀對測量平臺（250mm*200mm）上放置的樣品拍攝一張靜態(tài)畫面后，可在獲取的廣域觀察圖像上狹域的觀察位置。由此，可大幅減少多數(shù)測量點位置的選取時間，以及在圖像上難以尋找的特定點位置的選定時間。

廣域圖像觀察    輕松定位；

 

自動對焦功能 自動接近功能

在X射線鍍層測厚儀樣品臺上放置各種高度的樣品時，只要高低差在80mm范圍內，即可在3秒內自動對焦被測樣品。由此進一步提高定位操作的便捷性。

自動對焦功能    簡便的攝像頭對焦；

自動接近功能    位置的對焦。